河北工業凈化車間無塵車間設計建設降低能耗后期使用方案
2020-1-22 9:47:38??????點擊：
河北工業凈化車間無塵車間設計建設降低能耗后期使用方案
空氣潔凈度級別取決于所完成的工序。最敏感的接觸敞露晶園凈化車間的工序(光刻 、酸洗 濺射)生產特征尺寸為1微米的微電路時,上述工局應在ISO4-ISO5級潔凈度的潔凈室中完成。若采用更小的特征尺寸時,便需要ISO3級,ISO2級等潔凈區。在需要ISO5級潔凈度(國外標準209D的100級)的工藝方面,廣泛采用這樣的方案,即高潔凈度級別的凈化車間潔凈室占用很大面積。因此便將設備移至潔凈室外面,僅有設備控制盤和進出料機構在凈化車間潔凈室內,而設備本身位于潔凈度級別較低的技術維修區,當特征尺寸在1微米左右時,可采用這種工藝。潔凈度級別更高的局部潔凈區獲得了廣泛的應用,例如光刻間,化學酸洗間,清洗間等。直通式防護,區域防護和所謂工藝廳都是適合此種工藝的典型潔凈室方案。因此高潔凈度級別凈化車間潔凈室占用著過多的面積。對潔凈度的要求還會講一步提高 若仍按傳統的潔凈室概念去對待,必將導致解決方案的非常不合理,其出路就是采用隔離工藝。對工業凈化車間潔凈室產生污染物可以避免第二次污染在河北做工業凈化車間、精密制造凈化車間、鏡片凈化車間裝修設計找卓泰凈化
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